對于使用電動機(jī)，發(fā)電機(jī)和齒輪的機(jī)械設(shè)備和技術(shù)系統(tǒng)，狀態(tài)監(jiān)控是當(dāng)前的核心挑戰(zhàn)之一。在最大程度地減少生產(chǎn)停機(jī)風(fēng)險方面，計劃維護(hù)的重要性日益突出，不僅在工業(yè)領(lǐng)域，而且在任何使用機(jī)械系統(tǒng)的地方。

　　本文介紹了基于ADXL1002 MEMS加速度計的高線性度，低噪聲，寬帶振動測量解決方案。該解決方案可用于執(zhí)行軸承分析或發(fā)動機(jī)監(jiān)控，適用于要求動態(tài)范圍最高為50 g且頻率響應(yīng)范圍為DC至11 kHz的所有應(yīng)用。

　?。―C是一種在直流電路中將一個電壓值的電能變?yōu)榱硪粋€電壓值的電能的裝置，其采用微電子技術(shù)，把小型表面安裝集成電路與微型電子元器件組裝成一體而構(gòu)成。）

　　本文還分析了機(jī)器的振動模式。變速箱引起的振動在頻域中反映為軸速的倍數(shù)。在不同的頻率點出現(xiàn)異常，例如磨損，不平衡或零件松動。我們通常使用基于MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）的加速度計來測量頻率。與壓電傳感器相比，它們具有更高的分辨率，出色的漂移特性和靈敏度以及更高的信噪比（SNR）。此外，它們可以檢測到幾乎接近DC范圍的極低頻振動。

　　上圖中顯示了一個示例電路。ADXL1002的模擬輸出信號通過二階RC濾波器饋入逐次逼近寄存器（SAR）模數(shù)轉(zhuǎn)換器（ADC）AD4000，后者將模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字值以進(jìn)一步處理該信號。

　　如何構(gòu)建基于MEMS的解決方案以在狀態(tài)監(jiān)視期間實施振動檢測

　　ADXL1002是Analog Devices的高頻單軸MEMS加速度計，可提供遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出傳感器諧振頻率范圍的輸出信號通帶。使用此設(shè)備，還可以監(jiān)視3 dB帶寬以外的頻率。為了實現(xiàn)這種監(jiān)視，ADXL1002的輸出放大器需要支持70 kHz的小信號帶寬。使用ADXL1002的輸出放大器還可以直接驅(qū)動高達(dá)100 pF的電容負(fù)載。為了實現(xiàn)高于100 pF的負(fù)載，需要不小于8kΩ的串聯(lián)電阻。

　　ADXL1002的輸出需要配備一個外部濾波器，以消除由ADXL1002的輸出放大器產(chǎn)生的混疊噪聲和其他內(nèi)部噪聲成分，例如，通過耦合內(nèi)部200 kHz時鐘信號產(chǎn)生的噪聲。因此，需要相應(yīng)地采用濾波器帶寬。利用圖1所示的尺寸（R1=16kΩ，C1=300 pF，R2=32kΩ，C2=300 pF），在200 kHz時可獲得約84 dB的衰減。此外，所選的ADC采樣率應(yīng)高于放大器的帶寬（例如32 kHz）。

　　對于ADC，選擇ADXL1002的電源電壓作為其基準(zhǔn)電壓源，因為輸出放大器與電源電壓成正比。在此示例中，電源電壓容差和電壓溫度系數(shù)（通常連接到外部穩(wěn)壓器）位于加速度計和ADC之間，因此可以抵消與電源和參考電壓有關(guān)的隱式誤差。

　　頻率響應(yīng)

　　加速度計的頻率響應(yīng)是系統(tǒng)最重要的特性，如圖2所示。在高于約2 kHz至3 kHz的頻率下，增益會增加。對于諧振頻率（11 kHz），在輸出電壓下會產(chǎn)生大約12 dB（4倍）的最大增益值。

　　如何構(gòu)建基于MEMS的解決方案以在狀態(tài)監(jiān)視期間實施振動檢測

　　為了顯示范圍過沖（超過范圍），ADXL1002配備了相應(yīng)的輸出（OR引腳）。當(dāng)發(fā)生重大的超范圍事件時，集成監(jiān)視器將發(fā)出警報。

　　機(jī)械安裝注意事項

　　應(yīng)特別注意將加速度計放置在正確的位置。加速度計應(yīng)安裝在電路板的剛性放置點附近，以避免電路板本身發(fā)生任何振動以及電路板不受抑制的振動所引起的測量誤差。這種布置可確保加速度計每次接收到的電路板振動頻率都高于機(jī)械傳感器的共振頻率，因此加速度計實際上是看不見的。通過多個安裝點，接近傳感器和較厚的板還有助于減少系統(tǒng)共振對傳感器性能的影響。

　　結(jié)論

　　當(dāng)使用所示的電路時，構(gòu)建基于MEMS的解決方案相對容易，該解決方案可以檢測到DC范圍至11 kHz的振動（此范圍通常是旋轉(zhuǎn)機(jī)械的狀態(tài)監(jiān)測所必需的）。